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产业专利数据

扫描电子显微镜

US12194141 2008-8-19 发明申请

2009-3-5

为了实现该目的，作为本发明的实施例的包括形成聚光透镜的永磁体的扫描电子显微镜包括用于调节电子源和阳极电极之间的距离的机构。此外，用于调节电子源和阳极电极之间的距离的机构包括布置在阳极电极的下部的可移除间隔件。