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使用基於原子力显微镜(AFM)或传统奈米压痕法来测定材料之黏滞性、弹性、塑性及黏着性(VEPA)性质的方法

TW097125665 2008-7-8 发明申请

2009-3-1

本发明描述一种使用基於原子力显微镜或传统奈米压痕法来测定材料之弹性模数、塑性屈服应变及黏滞性及材料与压痕仪尖端之间的黏着功之方法。特定言之, 该方法包括一种测定方法, 其中在样品上各选择点附近进行一系列负载-卸载准静态压痕法。使用特定模型演算法来分析负载-卸载曲线, 以计算样品之多个机械性质。