| 原子力显微镜 |
| JP2007208762 2007-8-10 发明申请 |
| 2009-2-26 |
| 要解决的问题 : 以提供一种原子力显微镜，其减少了所述的所述的相对位置的波动效果一悬臂与物品要检查和能够高精度测量。溶液 : 该悬臂12所述的测量标准用于所述位移被设定为所述物品1到被检查; 和一个由一洗液的两个类型的偏振光分离棱镜28被照射在所述物品1与被检查到被设置作为一基准光; 而所述其它极化光被该悬臂12上以被设定为光照射到被检查。该相对位移所述悬臂的所述的引导端12和所述物品1到被检查测量直接通过使用一干涉光学系统，和所述参考光和所述待检查的光被设定以一公共光路以除去所述的重影因子，和为了进一步进行高精度测量，即使与相对于各种物品到被检查，所述所述参考光量的比率和所述的光到被检查可以调节。版权 : (C)2009，inpit |
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