| 原子力显微镜 |
| JP2007208763 2007-8-10 发明申请 |
| 2009-2-26 |
| 要解决的问题 : 提供一种原子力显微镜构成，以测量所述的相对位移一个物品要检查和一个悬臂和可测量的所述悬臂的所述位移，即使如果该物品待检查的是不放置在该阶段。溶液 : 在所述原子力显微镜，其将所述的光从光源21到S-偏振光和P-偏振通过一洗液的光棱镜28，以测量所述所述物品1的相对位移到被检查和所述悬臂12，该悬臂12所述用于测量所述位移的功能通过使用一个参考反射镜63作为一个测量标准是提供。所述调整工作在一种制备所述物品1的前级，所述的测量被检查的是使能; 通过使用所述参考镜63作为所述测量标准用于一个干涉条纹。此外，当所述物品1与被检查被安装在该阶段到测量表面形状，一种快门62可切断所述反射的光从所述参考镜63和一个波长板24用于改变所述的光的偏振状态被提供和所述两个类型的光学系统用于测量所述的位移该悬臂12被用于不同目的。版权 : (C)2009，inpit |
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