| 成像干涉显微镜 |
| US12117334 2008-5-8 发明申请 |
| 2009-2-26 |
| 示例性实施例提供了图像干涉显微镜(IIM)和用于图像干涉显微镜的方法。 所公开的IIM可以通过使用多个离轴照明来接近光学分辨率的线性系统极限，以访问高空间频率，同时在光学系统的低NA侧重新引入零阶参考光束的干涉。 在一些实施例中，薄物体可以垂直于光轴放置，并且频率空间限制可以扩展到大约[(1+Na)n/λ]，其中NA是所使用的物镜的数值孔径，n是传输介质的折射率，并且A是光波长。 在其它实施例中，倾斜物平面可进一步允许收集衍射信息，直到材料传输带通限制的空间频率约为2n/λ。 |
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