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用于生产基于基准结构装置电力的原子力显微镜

UAU200813673 2008-11-26 实用新型

2009-2-25

基准结构的生产装置电力的基于原子力显微镜包括用于参数单元控制，一种用于精度控制单元顶部的探点，扫描点的单元结构，单元，用于控制切割面运动。