| 扫描探针显微镜，和使用该相同的测量膜厚度分布的方法 |
| JP2007198811 2007-7-31 发明申请 |
| 2009-2-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜具有一个空间分辨率可达到所述周边为中心在10纳米，能够定量地获取信息的一种膜的厚度或其上分布的一种介电薄膜，以及一(非常薄的电介质)膜厚度分布测量显微镜使用所述的方法。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括一个导电衬底3装载与该介电薄膜2和具有一个接地电位，一扫描台5配备有一扫描控制装置6，一金属弹簧10，一种压电元件11将振动传递到所述金属弹簧10，一容量检测器7用于测量一个ΔC\/Δz信号的所述介电薄膜2通过所述金属弹簧10，和一个计算机9用于处理一个测量信号。为了获得一容量检测信号，采用一种结构，使得所述金属弹簧是振动; 通过所述压电元件要在所述导电衬底上的接触与该介电薄膜具有所述接地电位，而不是的应用的一种传统的交流信号，从而检测一电容变化。版权 : (C)2009，inpit |
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