产业专利数据
 
扫描电子显微镜
 
JP2007199789  2007-7-31  发明申请
2009-2-19
 
  要解决的问题 : 以正确的图像样品被倾斜时，为一个与所述样品被水平。溶液 : 一个看到的偏转角α为从一个照射电子束的中心和另一偏转角β被以不同角度处被偏转，和在所述相同的时间，和一个图像在样品的倾斜是要校正成一个图像与一个样品在一水平线不失真，通过组合梯形畸变校正，弯曲失真校正; 和倾斜的聚焦校正。版权 : (C)2009，inpit
 
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