| 扫描电子显微镜 |
| JP2007203142 2007-8-3 发明申请 |
| 2009-2-19 |
| 要解决的问题 : 以防止通过限制图像的分辨率的容量降低分散的电子在一个小的扫描电子显微镜使用一个聚光透镜，其中排除了一种调节功能的诸如轴对准和强度。溶液 : 在所述扫描电子显微镜，其中所述内管的内部中用于通过电子束被建立到被真空和一种低真空观测与物镜之间设置限制是可能的所述内管和一个样本室，两个级物镜限制单元具有另一个第二所述物镜之间的限制和物镜限制该样品被设置在所述内管的一个端。进一步，所述内管具有所述两个级物镜限制单元和所述内管具有所述物镜限制单元其具有所述物镜只被制成可更换的每个其它的限制。版权 : (C)2009，inpit |
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