| 扫描探针显微镜悬臂、相应制造方法、扫描探针显微镜及扫描方法 |
| US11891881 2007-8-14 发明申请 |
| 2009-2-19 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜悬臂，包括支撑部分、从支撑部分延伸的杆部分和在杆部分的自由端附近从悬臂的第一表面伸出的针。 从悬臂的与第一表面相对的第二表面，孔穿过针延伸到形成在针的尖端处的孔。 在针尖上附着一个大体上球形的颗粒。 一种扫描样品表面的方法包括 : 产生基本上朝向样品的相对悬臂运动，使得颗粒经受与样品的接触力；用激光照射悬臂的顶表面，使得一部分激光穿过空心针并从孔发射到颗粒上；以及检测来自样品的散射光。 |
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