| 基于电场诱导衬度的纳米复合材料电子输运的扫描电镜成像技术 |
| US11331840 2006-1-13 发明授权 |
| 2009-2-17 |
| 描述了基于电场诱导对比度的SEM成像和测量纳米复合材料中电子输运的方法和装置。 一种方法，包括将样品安装到样品保持器上，所述样品包括样品材料； 从样品保持器到样品的引线引线键合； 将所述样品保持器置于扫描电子显微镜的真空室中； 将来自所述样品保持器的引线连接到位于所述真空室外部的电源； 通过通过所述引线向所述样品施加预定电压来控制来自所述样品的二次电子发射； 以及产生来自样品的二次电子发射的图像。 一种装置，包括用于扫描电子显微镜的样品保持器，所述样品保持器具有电互连和在所述样品保持器顶部的电连接到所述电互连的引线； 电源和控制器，连接到所述电互连，用于向所述样品保持器施加电压以控制来自安装在所述样品保持器上的样品的二次电子发射； 和耦合到二次电子检测器以产生来自样品的二次电子发射的图像的计算机。 |
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