用于显微镜的光学装置,测量显微镜,和图像测量机
 
JP2007188134  2007-7-19  发明申请

2009-2-5
 
  要解决的问题 : 以提供一种光学装置用于一种显微镜,测量显微镜和一个图像测量机; 能够容易地观察内的壁的一圆柱形构件,而不需要一个特殊的照明系统。溶液 : 该光学装置\/测量显微镜\/图像测量机是提供具有一物镜透镜32使用作为测量对象所述圆柱形构件1与一个照明范围包括所述内壁1a和所述中央部1b在一侧多个从其内,和由具有一包括一反射的光的入射光在所述内壁1a,和一个用于屏蔽所述光掩模部分33所述的图像的中央部对应的所述圆柱形构件1图像聚焦通过所述物镜透镜32。版权 : (C)2009,inpit
 
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