| 紧凑的列电子显微镜组合装置，和缺陷观测方法。 |
| JP2007188984 2007-7-20 发明申请 |
| 2009-2-5 |
| 要解决的问题 : 以实现一种扫描电子显微镜能够自动拍摄一个倾斜的检查图像从一个任意倾斜观察方向。溶液 : 一列电子设置显微镜的组合装置具有一种结构 : 一电子显微镜能束的倾斜用于带电粒子光束照射在一个观察获得的图像缺陷和检测发射的电子从一个表面的所述观察缺陷; 和紧凑的列电子显微镜使成像从所述的电子显微镜的一列上的一个任意的角度。版权 : (C)2009，inpit |
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