| 扫描电子显微镜对准方法及扫描电子显微镜 |
| US12182704 2008-7-30 发明申请 |
| 2009-2-5 |
| 本发明的目的在于提供一种用于实施这些方法的轴对准方法、散光校正方法和SEM，其能够防止由于样品的条件引起的对准或校正误差。 第一方面是获得从标准样品上的自动轴对准结果和从观察目标样品上的每个自动轴对准结果获得的最优值之间的差，并且通过使用由此获得的差来校正使用标准样品调整的最优值。 第二方面是通过使用所述标准样本来获得最佳标注值(散光校正信号)，存储所述最佳标注值作为默认值，根据观察目标样本图案的高度将所述最佳标注值和所述默认值相加，并基于所得标注值执行散光校正。 |
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