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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于扫描探针显微镜高带宽致动器驱动器

US11831175 2007-7-31 发明申请

2009-2-5

一种用于具有用于测量样品的探针的扫描探针显微镜(SPM)系统中的致动器子系统，包括致动器和致动器驱动电路。致动器在SPM系统中操作以在探针和样品之间产生相对运动，同时SPM系统收集指示样品性质的数据。相对运动包括至少1微米的运动范围。致动器驱动电路向致动器施加驱动信号以引起相对运动，并且具有至少200kHz的小信号带宽，在小信号带宽内具有不大于100度的相位滞后。