| 扫描探针显微镜的快速针尖扫描 |
| US11831672 2007-7-31 发明申请 |
| 2009-2-5 |
| 一种原子力显微镜装置，扫描设置在x-y平面中的样品，所述样品具有表面，所述表面具有在垂直于x-y平面的z方向上的特征。 所述装置包括细长臂，所述细长臂具有枢转点并且可围绕所述枢转点在x-y平面中旋转； 以及探针尖端子结构，其包括(i)探针尖端和(ii)尖端致动器。 探针尖端子结构设置在细长臂上距枢轴点预定距离处，其中臂将探针尖端设置在从AFM装置的其余部分向外延伸的位置处。 原子力显微镜装置通过(i)绕枢轴点旋转细长臂和(ii)通过移动尖端致动器来移动探针尖端。 |
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