| 扫描电子显微镜 |
| US12184657 2008-8-1 发明申请 |
| 2009-2-5 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜，其能够分别确定半导体图案的质量、接触孔的变形和接触孔的侧壁的倾斜。 为此目的， 该扫描电子显微镜包括 : 图像拾取装置，用于在预设条件下拾取形成在半导体晶片上的电路图案的图像；计算装置，用于将由图像拾取装置拾取的每个图像与预先存储的参考图像进行比较，从而计算拾取的图像的特征；以及计算机，用于基于由计算装置计算的特征执行电路图案的质量评估，并且特征的计算参照二次电子图像独立地执行，并且每个后向散射电子图像。 |
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