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电子显微镜与电子光谱仪

EP08013707 2008-7-30 发明申请

2009-2-4

一透镜调整方法和一种透镜调整系统(18)，其调整多个的多-极透镜(11，12，13; 14)的一个电子光谱仪(8)连接到一个传输电子显微镜(1)，所述的多-极透镜的最佳条件被基于通过仿真确定的参数设计上的方法使用所述的多-极透镜的励磁电流作为参数。