目的 : 一数字全息图一种模块结构的显微镜单元被提供以降低其空间尺寸和到构建一种适用于一空间限制的，而不考虑硬件系统的各种测量和检查设备中的字段包括一个检查单元的半导体设备和一个检查单元的液晶显示设备。<\/P>

构成 : 一光源单元包括一个光源(1)。用于输出一激光束，一第一用于聚光透镜所述激光束作为平行光束，和第一分束器(3)，用于分离所述一对光束的平行光束分成。一种传输单元包括第一光学光纤(5)用于发送一个的所述光束对作为基准光源和一个第二的光纤(6)。用于发送所述其它一个所述光束对作为基准光源的。一种测量单元包括一个透镜(10)用于输出一个参考光束，第第二透镜(11)，用于输出所述激光束作为平行光束，一第二分束器(12)用于感应所述光束到一物体透镜(200)通过第二透镜，所述对象的透镜，用于形成一个物光束通过一个样品上反射该激光束(300)，一束组合器(13)用于结合所述物光束与所述参考光束，和一种图像拾取装置(100)用于投影一全息。<\/P>