| 用于光刻的方法和装置使用扫描探针显微镜 |
| KR1020070104876 2007-10-18 发明授权 |
| 2009-2-2 |
| 目的 : 一种光刻装置和使用一种探针显微镜是提供一种方法绘制所建立的数学模型所述光刻根据所述特定条件的结果到数据库。<\/P> 构成 : 一个电压施加单元(110)是由中心控制的控制单元(100)。该电压施加单元执行所述授权该电压到所述样品的光刻，电流检测单元(120)测量所产生的微电流通过所述电压的电压施加单元。该电流检测单元将所述测量值到该中心控制单元。一种环境控制单元(130)控制所述光刻计算的所述温度和湿度环境。一种表面测量单元(140)测量所述表面的高度变化量的样品。<\/P> kipo2009<\/P> |
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