| 扫描探针显微镜 |
| JP2007181736 2007-7-11 发明申请 |
| 2009-1-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一个接近一个探针和样品的方法能够可靠地允许的所述探头和所述样品以彼此接近，而不损坏所述探针和样品和能够缩短的所述用于方法所需的时间。溶液 : 当悬臂被激发由一个励磁机构，以允许所述探针和样品接近由一个粗调整机构，同时该悬臂由一检测所述的振幅位移检测机构，该振幅量增加通过任意量的所述悬臂被设置在一个步骤3，和所述粗调机构被停止在所述时间时，所述振幅量的设定点由该位移检测机构是检测在步骤5。版权 : (C)2009，inpit |
微信公众号