| 使用扫描探针显微镜表面观察的方法和表面检查装置使用扫描探针显微镜 |
| JP2007172829 2007-6-29 发明申请 |
| 2009-1-22 |
| 要解决的问题 : 以提供一种使用一种扫描探针显微镜表面观察的方法，其可以执行一个稳定测量由所述样品的表面电荷减少所述的效果，以最大限度。溶液 : 所述扫描探针显微镜表面观察使用所述的方法，包括所述步骤S2用于固定所述表面的所述所述扫描探针显微镜样品被所述测量的目标和一样品架由一种导电样品固定实现; 步骤s7用于连接所述表面的一部分和S8所述样品和所述导电样品的固定实现通过所述表面上形成一导电物质的所述样品用于测量所述表面特性和所述步骤S9所述的样品。优选地，所述导电表面被所述导电层形成在所述样品的表面使用一聚焦的离子束或电子束通过一聚焦的离子束装置和所述导电层是气相-沉积在该区域到达所述导电样品固定所述表面上实现测量从所述的附近区域的所述样品。版权 : (C)2009，inpit |
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