| 扫描显微镜 |
| JP2007180007 2007-7-9 发明申请 |
| 2009-1-22 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描显微镜能够获得一个令人满意的观察的图像。溶液 : 该扫描显微镜1是配备有 : 一照明光学装置，其包括一第一光源13和具有一扫描装置7从第一改变光光源13成扫描光和一个物镜6样品4上的所述扫描光聚光; 和一个光接收光学装置，其包括一检测器11并允许所述检测器11以接收观察从所述样品的光4通过物镜6和所述扫描装置7。该显微镜1具有一取样时钟产生装置3，其包括一第二光源16，扫描一个标尺20，其上的一预定图案是形成具有从第二光源16的光通过该扫描装置7，和检测所述从所述标尺光20以产生一采样时钟。所述波长的光从第二从其所观察的光源16是不同的光; 和所述光接收光学装置是配备有一选择功能来选择所观察的光进行的所述从第二光源16和观察光的光，并检测它通过所述检测器11。版权 : (C)2009，inpit |
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