| 用于提供用于平面图透射电子显微镜的自动样品制备的系统和方法 |
| US11804896 2007-5-21 发明授权 |
| 2009-1-20 |
| 描述了一种用于提供用于平面图透射电子显微镜的自动样品制备的系统和方法。 样品晶片从半导体晶片微切割并安装在第一支撑短截线上。 然后用自动金刚石锯切工具切割样品晶片以暴露样品晶片的横截面视图。 样品晶片从第一支撑短截线移除并旋转以定向样品晶片用于平面图成像。 然后，将旋转的样品晶片重新安装在第二支撑短截线上，并用自动金刚石锯切工具切割，以暴露旋转的样品晶片的平面图表面。 重新安装的样品晶片随后被准备用于聚焦离子束(FIB)铣削和平面图透射电子显微镜成像(plan-view transmission electron microscopy imaging)。 |
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