| 定位装置和使用该相同的扫描探针显微镜 |
| JP2008122675 2008-5-8 发明申请 |
| 2009-1-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一定位装置中的多个轴向方向驱动，适合用于一种扫描探针显微镜并获得高的速度测量通过防止谐振频率中的一种降低在高-中的所述轴向方向引起的速度驱动到通过组合一移动机构引起的串扰到被驱动在高的速度与一移动机构，以被驱动在低速度。溶液 : 一扫描探针显微镜使用所述定位装置具有一个单元m13，以在XY方向被驱动; 具有一个基本上正方形平面中形成一平面的几何形状，在所述的中心在该XY方向和具有一第一在X-轴方向弹性支撑其弯曲在所述的至少一个上侧方形成和一第二在Y-轴方向弹性支撑其弯曲至少一个侧上的正交到所述侧; 和一支撑部9用于支撑一载物台部1在XY方向使其面对表面可以面，在平行，该单元3所面对的表面，以在该XY方向被驱动的。所述定位装置具有一预定厚度的间隙所述表面之间的对应到该单元3以被在该XY方向驱动的至少所述支撑部和所述的面对表面9面对该表面; 和所述间隙被填充有一种粘度剂10。版权 : (C)2009，inpit |
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