| 聚焦装置和显微镜装置 |
| JP2007168678 2007-6-27 发明申请 |
| 2009-1-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一聚焦装置，其有效使用两个种类的聚焦检测系统，但其所需要的时间是短，和一个高-性能显微镜装置。溶液 : 该聚焦装置包括 : 聚焦检测装置(7至14和16至22)产生一散焦信号，表明偏差在一个所述物镜的焦点之间的光学轴方向(3)和一个对象(2)由两个种的系统，其是，一个第一系统具有一个宽的检测范围和低检测精度和一第二系统具有一窄的检测范围和高检测精度平行或在一个时间-时分方式中; 和调节装置(23，24，25和26)监控一个评估值表示所述第第二散焦的可否信号第二产生的系统，所述物镜和所述对象之间的距离调整在所述的基础一种由第一系统第一产生的散焦信号时，该评估值是低于规定电平，以及所述的基础上调节所述距离的第二散焦信号时，所述评价值超过所规定的电平。版权 : (C)2009，inpit |
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