| 扫描电子显微镜 |
| JP2008223009 2008-9-1 发明申请 |
| 2009-1-15 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜能够有效地检测反射的电子产生的从样品在一个低角度而实现一短焦点距离，并形成一个样品图像。溶液 : 一个二次电子转换电极7，用于产生一个二次反射电子的碰撞造成的电子9a8a是设置进一步朝着一个比一个对象的电子源侧透镜4和向一个样品侧比一个二次电子探测器5a。因此，所产生的反射电子从所述样品在一个低角度可以被有效地检测到在所述基础所形成的。版权 : (C)2009，inpit |
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