| 压电微悬臂梁及其在原子力显微镜中的应用 |
| US11946534 2007-11-28 发明申请 |
| 2009-1-8 |
| 本发明涉及一种可在溶液中进行的用于静态接触和动态非接触原子力显微镜的压电微悬臂梁。 压电微悬臂梁包括压电层和非压电层，压电微悬臂梁能够自致动和检测。 压电层可以由铌镁酸铅-钛酸铅(Pb(Mg1/3Nb2/3)O3)0.65-(PbTiO3)0.35(PmN0.65-Pt0.35)(PmN-Pt)，锆钛酸盐(PZT)/SiO2或任何无铅压电材料如掺杂铌酸钠钾-铌酸锂构成。 微悬臂梁的压电层可以具有1600-3000的介电常数和低于10um的厚度。 还公开了制造微悬臂梁传感器的方法和使用微悬臂梁的原子力显微镜方法。 |
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