产业集群信息网

产业专利数据

用于扫描探针显微镜的纳米计量装置标准及其制造和使用方法

US11282395 2005-11-17 发明授权

2009-1-6

描述了用于结合扫描探针显微镜制造和使用这种器件的纳米测量器件标准和方法。所述制造方法包括 : (1)外延生长，其产生在典型纳米计量环境中具有已知形态、结构、形态和化学稳定性的纳米尺寸岛，以及大的高宽纳米岛纵横比，以及(2)在所述器件上标记适当的晶体学方向以与扫描方向对准。