| 使用帽偏压以倾斜模式的扫描式电子显微镜(SEM)作反散射电子(BSE)成像 |
| CN202280036499.4 2022-1-24 发明申请 |
| 2024-1-5 |
| 一种评估样品区域的方法，所述方法包含：将样品定位在真空腔室内；用扫描式电子显微镜(SEM)柱产生电子束，所述扫描式电子显微镜柱包括在柱的一端处的电子枪及在所述柱的相对端处的柱帽；将电子束聚焦在样品上并且横跨样品区域扫描经聚焦的电子束，同时SEM柱以倾斜模式操作，从而自区域之内产生二次电子及反散射电子；并且在扫描期间，利用一或多个检测器收集反散射电子，同时施加负偏压至柱帽以改变二次电子的轨迹，从而防止二次电子到达一或多个检测器。 |
微信公众号