| 用于电子显微镜的样品架，和电子显微镜 |
| JP2008046652 2008-2-27 发明申请 |
| 2008-12-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于一种显微镜，其可观察样品架几乎的一个总区域一个与使用高分辨率扫描电子显微镜的样品，并提供一种电子显微镜配备有这种用于显微镜样品架。溶液 : 用于电子显微镜样品架20上，该电子束将通过一个支持的样品S由栅极28和通过一个孔径构件31具有一主体部分21连接到一个一种扫描电子显微镜的样品架是一个二次电子产生表面32上照射，导致在一个二次电子被从所述二次产生的电子产生表面32。在这个时间，所述的电子散射由该样品S是通过中断所述孔径构件31，其允许该样品S被观察到具有高分辨率。进一步，所述主体部分21是通过所述样品台倾斜和旋转，允许几乎一个总区域所述样品的S被观察到。版权 : (C)2009，inpit |
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