| 扫描探针显微镜检测与修改系统 |
| US12214573 2008-6-19 发明申请 |
| 2008-12-25 |
| 一种使用扫描探针显微镜(SPM)技术和工艺的扫描探针显微镜(SPM)检查和/或修改系统。 该系统包括用于检查和/或修改对象的各种类型的微结构SPM探针。 SPM系统的组件包括微结构校准结构。 探头可能因磨损或制造错误而出现缺陷。 校准结构的各种类型的参考测量是用探针进行的，反之亦然，以校准它。 SPM系统的部件还包括一个或多个尖端加工结构。 在这些结构处，SPM探针的尖端的材料可以通过用尖端加工结构研磨和化学研磨尖端的材料来加工。 |
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