| 所述头模块的原子力显微镜 |
| KR1020070058716 2007-6-15 发明申请 |
| 2008-12-18 |
| 目的 : 一个头模块一种原子力显微镜的一部分被提供以简化光学元件和细装置部件; 该显微镜和安全一个宽的视角。<\/P> 构成 : 一悬臂(55)被定位在一个父的一个端板(50)，其被连接到一个扫描器，和安装与一个探针(57)在其端部。激光单元是位于所述悬臂。一种光纤(60)具有一个端部切割成一个倾斜表面(65); 其中所述端部是位于所述探针用于控制由所述激光单元所产生的激光束的路径。一个检测器(80)检测反射的激光束与所述悬臂。<\/P> kipo2009<\/P> |
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