| 所述头模块的原子力显微镜 |
| KR1020070058731 2007-6-15 发明申请 |
| 2008-12-18 |
| 目的 : 一种原子力显微镜的一个头模块被提供到一个悬臂和Z-轴测量所述的弯曲一种探针的同时运动位移。<\/P> 构成 : 一扫描器(53)是一种压电陶瓷元件的形成。一种悬臂(55)。被安装在一母板(50)的一个端连接到所述扫描仪。一种探针(57)被定位在一个所述悬臂的一端。一衍射栅格(72)产生至少两个或多个衍射光光束(62，64，66)用于一激光束(60)中产生一个光学单元，检测器(82，84)检测所述衍射光束。<\/P> kipo2009<\/P> |
微信公众号