| 粒子去除方法、粒子去除装置、原子力显微镜及带电粒子束装置 |
| US12139065 2008-6-13 发明申请 |
| 2008-12-18 |
| 将具有一对可打开和可关闭的臂的小镊子移近样品，夹住附着在样品表面上的颗粒，并将其携带到粘合构件上，以将其附着到样品上，所述小镊子具有一对可打开和可关闭的臂，所述小镊子具有一对可打开和可关闭的臂，所述小镊子具有一对可打开和可关闭的臂。 打开小镊子以释放颗粒，并将其从粘合构件移开以将颗粒留在粘合构件上。 一种颗粒去除装置，包括具有一对可打开和可关闭的臂的小镊子； 开闭驱动单元，其驱动所述一个或多个臂以打开/关闭所述小镊子； 安装粘附构件的台，所述粘附构件将颗粒附接到所述台以收回所述颗粒； 以及移动机构，用于在样品和安装在台架上的粘合构件之间移动小镊子。 此外，公开了一种包括粒子去除装置的原子力显微镜和带电离子束装置。 |
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