| 扫描电子显微镜和使用该扫描电子显微镜对物体成像方法 |
| US12139970 2008-6-16 发明申请 |
| 2008-12-18 |
| 一种扫描电子显微镜，能够以高速和高再现性修改聚光透镜的焦距位置，以便在大焦距深度处获得低倍图像，并在高分辨率处获得高倍图像。 该显微镜具有样品保持部分、电子束源、用于会聚电子束的会聚透镜、用于将会聚的束聚焦到样品上的非常小的点的物镜、扫描线圈、用于检测从样品发出的样品信号的检测器、以及用于将检测到的样品信号显示为图像的显示部分。 轴对称电极设置在由聚光透镜产生的磁场内。 向电极施加电压。 |
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