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产业专利数据

用于电子显微镜检测装置

WOIB08001438 2008-6-5 发明申请

2008-12-18

所描述的是一种检测装置设计成被安装在扫描电子显微镜(2)样品(3)的下游要使用一个电子光束分析(f)通过所述样品。该装置包括一个检测元件(4)分割成多个部分的其向不同角度与所述样品。每个部分产生一信号依赖于所述的电子的数量，其穿过所述样品和被偏转在由其所投下的角度检测器部分。