| 用于测量衬底表面上的结构的侧壁的形貌的方法和扫描探针显微镜系统 |
| WONL23050353 2023-6-28 发明申请 |
| 2024-1-4 |
| 本文献涉及一种使用扫描探针显微镜系统测量衬底表面上的结构的侧壁的形貌的方法。 所述系统包括具有探针针尖的探针，并且所述基板被支撑在基板载体上。 该方法包括在测量点处执行测量，其包括以下步骤：相对于彼此移动探针和基板载体，以在垂直于基板表面的Z方向上使探针针尖朝向表面接近； 确定所述探针针尖位于所述侧壁附近； 在所述探针针尖和所述侧壁之间建立接触； 以及在与所述侧壁接触时获得所述探针针尖的横向位置，以确定所述侧壁上的当前位置。 建立接触的步骤包括通过在基板载体或探针上施加非振荡运动，在至少一个横向于Z方向的横向方向上相对于基板载体移动探针针尖的步骤。 该文献还涉及一种扫描探针显微镜装置。 |
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