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环境扫描电子显微镜的离子化检测器
CZ20070685 2007-10-4 发明授权
2008-12-17
本发明涉及一种环境扫描电子显微镜的离子化检测器包括样品室(1)分离从显微镜极靴(4)由筛网(2),用于将通道的横梁(3)的一次电子和容纳样品架(6)和至少一个检测电极(7)。显微镜的平面检测电极(7)包括基本上样品平面的样品或其下方而其中有源侧所述检测电极(7)朝向迎面而来的初级电子束(3)。静电场,确定二次电子的轨迹形分离电极即延迟,排气和环形电极(8,9,11)。
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