| 颗粒制造装置用于使用光栅扫描探针显微镜的探针腐蚀半导体材料制成的高原板上的探针，具有侧向定位板带有多个光栅腐蚀高原探针 |
| DE102007027509 2007-6-8 发明申请 |
| 2008-12-11 |
| 本发明涉及一种装置(1)用于生产颗粒探针，用于使用光栅光栅探针显微镜(XYZ)腐蚀高原探针(4，5，6)在盘(3)由半导体材料制成的。由本实用新型的任务是任意的拾取和耗时的扫描显示出颗粒基板以及aufw和通过训练ultimative尖头探针点范围时避免了探头机构，所述溶液由本实用新型的装置(1)包含 : -第一lateralpositionierer(2)的盘(3)，光栅(XYZ)中的几个腐蚀高原探针(4，5，6)显示，它们的凸台(7，8，9)与滞留材料(10)被提供，-第二lateralpositionierer(11)，用于颗粒储存器(12)，是从基板(13)与光栅(X‘Y“z”)支撑固定岛(14，15，16)，在那些颗粒(17，18，19)，存在，其中第二lateralpositionierer(11)到第一lateralpositionierer(2)给定的垂直距离(a)，-光栅定位机构(20)之间的同意位置姿态的高原探针(4，5，6)与颗粒(17，18，19)和垂直移动机构(21)，那些与两个lateralpositionierern和所述光栅定位机构(20)机械和电连接位于和那些该lateralpositionierer(2，11)垂直相对… |
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