扫描探针显微镜
 
JP2007141277  2007-5-29  发明申请

2008-12-11
 
  要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜可激发的一个悬臂在其谐振频率到观察样品。溶液 : 一激励压电元件22中所产生的振动被传输到一个振动传送线18通过一线固定架19。由于所述振动传送线18与第二是在接触所述侧表面S2上(该表面所述悬臂的一探针8)的7,该振动传送到所述振动传送线18被发送到所述的悬臂7从该侧第二面S2的该悬臂7。版权 : (C)2009,inpit
 
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