| 扫描探针显微镜探针和相对位置的测量方法及其 |
| JP2007142613 2007-5-29 发明申请 |
| 2008-12-11 |
| 要解决的问题 : 以快速和准确地识别所述多个探针的一个之间的相对位置。溶液 : 所述扫描探针显微镜是配备有一级2在其一个样品W被放置，三个或三个上述探针31，32，33和34在相对的关系设置到所述样品W和相对可移动的与关于向该级2，所述用于检测所述物理量检测部6由于该表面到所述的交互该样品的W和所述的探针，一种图像形成部73用于接收所述检测信号从所述检测部分6以形成所述样品W的表面图像，一接收部4用于接收位置关系数据。被所述相关的数据到所述相互邻接的所述各个探测器31，32，33和34，和一个相对用于获取所述表面的图像位置计算部76从所述各个探测器31，32，33和34获得由所述图像形成部73和对照所述各自的所述的位置关系的基础上表面的图像数据到计算各个探测器之间的相对位置。版权 : (C)2009，inpit |
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