| 定位装置和使用该定位装置扫描探针显微镜 |
| US12129350 2008-5-29 发明申请 |
| 2008-12-4 |
| 提供了一种扫描探针显微镜，其采用定位装置M1，该定位装置M1包括在XY方向上被驱动的单元，该单元在XY方向上的平面几何形状在平面的中心具有基本上正方形的形状，并且具有至少在正方形的一侧上在X轴方向上弯曲的第一弹性支撑件和至少在与该侧正交的一侧上在Y轴方向上弯曲的第二弹性支撑件，以及支撑单元，该支撑单元在XY方向上支撑载物台单元1，使得面对 表面可以在XY方向上平行地面对要被驱动的单元的面对的表面。 定位装置在与至少在XY方向上被驱动的单元相对应的表面和支撑单元的面对其的面对表面之间具有预定厚度的空间，并且该空间填充有粘度剂。 |
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