| 一种配有镊子扫描探针显微镜及其转移方法 |
| US12130311 2008-5-30 发明申请 |
| 2008-12-4 |
| 一种配备镊子的扫描探针显微镜，包括具有探测部分的第一臂， 第二臂，所述第二臂相对于所述第一臂沿打开方向或关闭方向移动， 静电致动器，其基于施加到所述第二臂的开/关驱动电压沿所述开方向或所述关方向驱动所述第二臂；放大器，其通过使用伴随所述静电致动器的电等效电路作为反馈电路来在所述静电致动器中诱发自振荡，并通过所述自振荡使所述第二臂振动；以及振动状态检测单元，其检测所述第二臂在接触对象物时的振动状态的变化。 |
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