| 方法和装置，用于检查一与一探针显微镜样品 |
| WODE08000894 2008-5-30 发明申请 |
| 2008-12-4 |
| 本发明涉及一种用于检查一与一探针显微镜样品的方法，特别是用于检查具有一扫描探针显微镜，以其一种样品中的一种方法是通过检查与一个探针显微镜装置的一个多部分测量探针的探针，其由元件和一导向元件引导所述探头元件时，检查与探针显微镜。所述的方法由以下步骤 : 噪声测量用于所述测量探针被检测到的信号在一个非-测量配置，其中所述探头元件中是从所述的分离导向元件; 测量用于所述测量探针被检测到的信号在一测量，其中所述探头元件中的配置是引导通过该导向元件和所述测量信号被评估，使得所述测量信号被分配至少部分地以该噪声测量信号。本发明还涉及一种装置，用于检查一与一探针显微镜样品。 |
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