| 自动着陆方法和装置，用于使用所述相同的扫描探针显微镜 |
| WOKR08003016 2008-5-29 发明申请 |
| 2008-12-4 |
| 这里公开了用于一个扫描探针显微镜是一种自动着陆方法和一种自动着陆的装置使用所述相同。该方法包括使用一光源照射光，以一悬臂; 收集产生的干扰条纹的所述的光被衍射从所述悬臂的所述边缘和然后被入射到该样品的表面; 所述样品中的方向驱动所述尖端，直到该干扰条纹的所述图案达到一预定的图案区域(第一驱动); 所述样品中所述尖端和驱动该干扰条纹图案后方向达到该预定图案的区域(第二驱动)。根据本发明中所述的方法是非常有效的特别用于样品具有一个大表面区域; 因为它使一尖端的自动着陆根据一种最佳的时间点识别和选择用于各个着陆步骤，在着陆条件不利的变化无关，如样品的表面不规则性。进一步，本发明使一种非常便宜和有效的应用的一个扫描探针显微镜(SPM)，因为它是可能的，以达到快速和可靠的驱动一尖端以一种近似的距离内的样品。 |
微信公众号