| 带电粒子仪配备有光学显微镜 |
| EP08157262 2008-5-30 发明申请 |
| 2008-12-3 |
| 本发明涉及一种装置，其中所述样品(4)是一种光学显微镜(130)之间放置和SEM柱(102)一种光学显微镜载玻片(10)上。传统的显微镜载玻片不适合用于使用一电子显微镜中作为它们被绝缘，因此，将会在电子显微镜观察时的电荷由于所述带电粒子的撞击的电子束。然而，存在的显微镜载片，其示出了一与一导电层的涂层E。G。铟锡氧化物(ITO)。所述显微镜载玻片通常用于加热所述对象安装在所述滑动通过使电流通过所述导电层。这种显微镜载玻片(10)是本发明还用于在所述的装置，通过连接所述导电层以E。G。接地电位，从而形成一种返回路径用于所述带电粒子的撞击，从而避免充电。 |
微信公众号