| 自动着陆方法和装置,用于使用所述相同的扫描探针显微镜 |
| KR1020080032371 2008-4-7 发明申请 |
| 2008-12-3 |
| 目的 : 一种自动着陆方法和装置被提供到自动探针显微镜在一特定的陆地一尖端一短时间内的速度即使在该条件变化的情况下,以达到有效着陆性能用于大区域样本。<\/P> 构成 : 自动照射光探针显微镜的着陆方法包括步骤,以一悬臂,收集干扰的步骤条纹的产生根据所述悬臂的光,其是在所述的衍射角和输入到所述的表面一个样品,样品中的方向驱动一尖端的一个步骤,直到该干扰条纹达到一预定的图案区域,和一个驱动所述尖端到所述样品的步骤后,该干涉条纹是到达方向在所述预定图案的区域。<\/P> kipo2009<\/P> |