| 纳米光刻装置和方法在扫描探针显微镜 |
| KR1020070051927 2007-5-29 发明授权 |
| 2008-12-1 |
| 所述光刻装置和探针显微镜是提供所述的方法，以产生该信号用于所述的纳米结构制造在该位置，其中一个用户想要通过输出所述各自的数字光刻的信号或所述的模拟光刻信号。所述光刻所述探针显微镜的装置包括所述信息输入单元(11)，和所述输出控制，该信息输入单元接收该信息用于制造所述的纳米结构到所述样品。所述信息输入单元接收该数字或模拟位置信息的样品。所述输出控制输出数字产生所述各自的数字光刻的控制信号或所述的模拟光刻信号根据所建立的光刻算法和所述输出控制输出的数字或模拟位置信息根据所述位置信息所选择的样品输入该样品的方法。 |
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