| 光学显微镜 |
| JP2007129458 2007-5-15 发明申请 |
| 2008-11-27 |
| 要解决的问题 : 以快速和准确地设定一最佳相位差的相位差调整中的位置用于一个光学具有一差分干涉显微镜观察功能。溶液 : 一棱镜117是使用Nomarski以构成一个微分干涉观测光学系统。一个操作部分3获取指定用于移动所述Nomarski棱镜117。DIC电机118移动所述Nomarski棱镜117在一个方向正交于所述的光学轴的所述所述的光学系统的光学显微镜在根据获取的指定由所述操作部3，以调整所述延迟在差分干涉观测。一控制部分2计数通过所述操作部3获取的所述指定的持续时间和还控制所述DIC电机118以改变所述Nomarski棱镜117所述的移动量根据与所述的持续时间中所述指定。版权 : (C)2009，inpit |
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